Browsing by Author "Melnic, V."
Now showing 1 - 1 of 1
Results Per Page
Sort Options
Item Micro-oxidation of silicon surfaces by means of electrical, discharges in impuls [Articol](USARB, 2013) Topală, Pavel; Melnic, V.; Guzgan, D.Articolul prezintă rezultatele strudiul teoretico-experimental privind formarea peliculelor de oxizi pe suprafeţele din siliciu cu ajutorul oxidării termice rapide în plasma cauzată de descărcările electrice în impuls. Procesul de oxidare a fost obţinut în atmosferă în condiţii normale. Se arată că proprietăţile peliculelor de oxizi depind de puterea disipată pe suprafaţa prelucrată, precum şi de materialul de bază a electrozilor.